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INHALTE
XYZ Positionierer
Serie TRITOR
Das Konzept
piezosytsem jena entwickelte, als erste Firma überhaupt, mit der Serie "TRITOR" eine Reihe kompakter piezoelektrischer XYZ-Nano-Positionierer. Aus der Anforderung, auf kleinstem Raum einen XYZ-Antrieb zu integrieren, entstand eine einzigartige Produktreihe. Es wurde eine Serie entwickelt, die sowohl das Positionieren von Optiken, das Scannen von Oberflächen oder auch das Bewegen mechanischer Baugruppen in der Automatisierung mit höchster Präzision ausführen kann. So präsentierte piezosystem jena 2004 mit dem microTRITOR den kleinsten XYZ-Positonierer der Welt.
Die Serie umfasst folgende Systeme:
MicroTRITOR - Hub 9µm, kleinster XYZ-Positionierer
MiniTRITOR - Hub 38µm, Scanning, Mikromontage
TRITOR 100 - Hub 100µm, Messtechnik, Mikromontage, Alignment
TRITOR 101 und 102 - Hub 100µm, Mikroskopie, Lasertechnik
TRITOR 200/20 - Hub 200µm, SNOM, RAMAN, AFM Mikroskopie
TRITOR 400 - Hub 400µm, Probenpositionierung, Alignment
Die Systeme der Serie TRITOR sind für verschiedenste Anwendungen bestens geeignet - von der Forschung bis zur OEM-Anwendung.
Das Design
FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung in XY und Z. Bei einer einzigartigen Kompaktheit dieser Antriebe können Parallelbewegungen bis 400µm in allen drei Achsen realisiert werden. Das Besondere an den Antriebsystemen von piezosystem jena ist die integrierte Vorspannung jeder Achse, die bei hohen Beschleunigungen im dynamischen Betrieb ein Überschwingen verhindert. Das garantiert höchste Genauigkeit und hervorragende Führungseigenschaften. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, die in Verbindung mit der entsprechenden Steuerelektronik Drift- und Hystereseffekte verhindern. Die kapazitive Sensorik misst dabei direkt die Bewegung der Kopfplatte in XYZ. Somit wird, im Gegensatz zu anderen Anbietern, ein Achsübersprechen erkannt und vermieden.
Der Einsatz
Die Elemente der Serie TRITOR sind hochempfindliche Positioniersysteme, die Genauigkeiten im sub-nm Bereich garantieren. Bitte beachten Sie die entsprechenden Montagehinweise bei der Handhabung. Alle Systeme besitzen auf Kopf- und Fußplatte Gewindebohrungen und zum Teil Stiftlöcher zur exakten Befestigung. Die Elemente der Serie TRITOR können daher problemlos mit anderen mechanischen Positioniersystemen kombiniert werden. Somit sind wir auch in der Lage, in Kombination mit Linearmesstischen, mm-Stellbereiche zu realisieren.
- Produktvielfalt mit kompaktem Design
- integrierte Vorspannung für hohe Dynamik
- integrierte Positionssensorik verhindert Drift und Hysterese
- Parallelbewegung durch Parallelogrammdesign
- spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
- kein Achsübersprechen durch spezielle Sensoranordnung
- piezoelektrischer Antrieb für unbegrenzte Auflösung
- Vakuum- und Tieftemperaturausführung
- Bewegungen bis zu 400µm
Das Konzept
piezosytsem jena entwickelte, als erste Firma überhaupt, mit der Serie "TRITOR" eine Reihe kompakter piezoelektrischer XYZ-Nano-Positionierer. Aus der Anforderung, auf kleinstem Raum einen XYZ-Antrieb zu integrieren, entstand eine einzigartige Produktreihe. Es wurde eine Serie entwickelt, die sowohl das Positionieren von Optiken, das Scannen von Oberflächen oder auch das Bewegen mechanischer Baugruppen in der Automatisierung mit höchster Präzision ausführen kann. So präsentierte piezosystem jena 2004 mit dem microTRITOR den kleinsten XYZ-Positonierer der Welt.
Die Serie umfasst folgende Systeme:
MicroTRITOR - Hub 9µm, kleinster XYZ-Positionierer
MiniTRITOR - Hub 38µm, Scanning, Mikromontage
TRITOR 100 - Hub 100µm, Messtechnik, Mikromontage, Alignment
TRITOR 101 und 102 - Hub 100µm, Mikroskopie, Lasertechnik
TRITOR 200/20 - Hub 200µm, SNOM, RAMAN, AFM Mikroskopie
TRITOR 400 - Hub 400µm, Probenpositionierung, Alignment
Die Systeme der Serie TRITOR sind für verschiedenste Anwendungen bestens geeignet - von der Forschung bis zur OEM-Anwendung.
Das Design
FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung in XY und Z. Bei einer einzigartigen Kompaktheit dieser Antriebe können Parallelbewegungen bis 400µm in allen drei Achsen realisiert werden. Das Besondere an den Antriebsystemen von piezosystem jena ist die integrierte Vorspannung jeder Achse, die bei hohen Beschleunigungen im dynamischen Betrieb ein Überschwingen verhindert. Das garantiert höchste Genauigkeit und hervorragende Führungseigenschaften. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, die in Verbindung mit der entsprechenden Steuerelektronik Drift- und Hystereseffekte verhindern. Die kapazitive Sensorik misst dabei direkt die Bewegung der Kopfplatte in XYZ. Somit wird, im Gegensatz zu anderen Anbietern, ein Achsübersprechen erkannt und vermieden.
Der Einsatz
Die Elemente der Serie TRITOR sind hochempfindliche Positioniersysteme, die Genauigkeiten im sub-nm Bereich garantieren. Bitte beachten Sie die entsprechenden Montagehinweise bei der Handhabung. Alle Systeme besitzen auf Kopf- und Fußplatte Gewindebohrungen und zum Teil Stiftlöcher zur exakten Befestigung. Die Elemente der Serie TRITOR können daher problemlos mit anderen mechanischen Positioniersystemen kombiniert werden. Somit sind wir auch in der Lage, in Kombination mit Linearmesstischen, mm-Stellbereiche zu realisieren.
