INHALTE
Serie PXY D12
Die Elemente der Serie PXY D12 wurden für STM, SNOM und AFM
Anwendungen entwickelt. Die Systeme sind für eine hohe
Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY und
optional auch Z optimiert.
Mit den Zusatzelementen PZ 8 D12 bzw. PZ 20 D12 können die PXY D12 Elemente um eine von 8µ bzw. 20µm Bewegung in z-Richtung ergänzt werden.
Alle Systeme sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum und Tieftemperaturausführung verfügbar.
Mit den Zusatzelementen PZ 8 D12 bzw. PZ 20 D12 können die PXY D12 Elemente um eine von 8µ bzw. 20µm Bewegung in z-Richtung ergänzt werden.
Alle Systeme sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum und Tieftemperaturausführung verfügbar.
- Stellbereich bis zu 200µm auf x- und y-Achse
- kHz Resonanzfrequenz
- Zusatzoption Element für z-Achsenbewegung
- Version mit Positionssensor
- Option: Optimierung auf minimales Rauschen auf der z-Achse

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