Piezo Syteme Jena

mehrdimenstionale Stellsysteme

Anwendungen:

• Nanopositionierung
• Mikroscanning
• Scanning-Mikroskopie
• Oberflächenanalyse
• Metrologie
• Justage

Die PXY 201 Serie bietet eine freie Apertur von 30x30mm² und einen Nanopositionier- und Mikroscannbereich von 250µm ungeregelt, bzw. 200µm im geregelten Betrieb.

PXY 201 CAP und PXY 201 CAP digital sind ausgestattet mit integrierter direkt messender hochauflösender kapazitiver Wegsensorik. In Kombination mit dem passenden Controller von piezosystem jena werden Drift und Hysterese ausgeglichen.

Weiterhin zeigt das System höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbar-keit und Genauigkeit. Dazu erlauben digital Controller von piezosystem jena in-situ set up der PID-Regelparameter, Anstiegsbegrenzung und Kerbfilterbandbreite. So ist es möglich, die Parameter abhängig vom aktuellen Beladungsszenario während des Systembetriebs durch "Versuch und Irrtum" anzupassen.

Die FEM optimierte Festkörpergelenkführung zeichnet sich aus durch höchste Bahntreue, speziell unter Belastung. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikroscanningtisch sehr robust gegen hohe Beladungen und laterales Misshandeln.

Zum Minimieren von unerwünschten Überschwingen und zum verkürzen der Einstellzeiten im Scannbetrieb ist die PXY 201 Serie ausgestattet mit integrierten passiven Dämpfungselementen. Die weiter verbesserte hohe Zuverlässigkeit der PXY 201 Serie macht diese zur ersten Wahl für den industriellen Nanopositionier- und Mikroscanningein-satz.