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piezosystem jena
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METANAVIGATION

INHALTE

Spiegelkippsysteme

  • ultraschnelle Mehrachsen-Spiegelpositionierer
  • Kippsystem und Scanner für optische Komponenten und Spiegel mit einem Durchmesser bis zu 50mm
  • verschiedene Kippwinkel und Kippachsen
  • +/- Auslenkung
  • kHz-Resonanzfrequenz
  • sub-µrad Auflösung
  • zusätzliche Z-Achsen Bewegung
  • optional Positionssensorik für "closed loop" Regelkreis
  • kombinierbar mit anderen Positioniersystemen



Die Serie der Spiegelpositionierer oder Kippsysteme PSH dienen der schnellen und präzisen Positionierung von optischen Komponenten. Vornehmlich Spiegel oder Prismen können somit im mrad-Breich und bei Frequenzen bis zu einigen Kilohertz positioniert werden.

Je nach Ausführung können Kippbereiche bis zu 2° realisiert werden. Durch das Direktantriebsprinzip mit mechanischer Vorspannung ist auch das Positionieren von Komponenten mit einer höheren Masse problemlos möglich.
Optional verfügbare integrierte Sensoren erlauben eine drift- und hysteresefreie Positionierung die zudem temperaturkompensiert ist.

Systemübersicht:

Typ

Kippachsen
Kippwinkel* (mrad)
(open/closed loop)
z-Hub (µm)
PSH 1

theta xyz
1 / 0.8
8
PSH 2

theta xyz
2 / 1.6
18
PSH 3

theta xyz
3 / 2.4
26
PSH 4

theta xyz
4 / 3.2
33
PSH 8

theta xy
8 / 6.4
-
PSH 35
theta x 35 / - -
PSH 35 SG
theta x 35 / 25 -
PSH 4/1

theta x
± 2
-
PSH 15/1

theta x
± 7.5
-
PSH 30/1

theta x
± 15
-
PSH 5/2
theta xy ± 2 -
PSH 10/2
theta xy ± 4 -
PSH 0.3/1 SG
theta x 0.3 / 0.08 -
* = weitere Konfigurationen mit Positionssensorik und Vakuumausführung auf Anfrage