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INHALTE
PZS 2 (60µm Spalt)
Piezo - Spaltantrieb
Anwendungen:
Bei den Elementen der Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.
Damit ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) gesichert.
Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem angeboten. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS - Elemente sind mit Schneiden aus Edelstahl erhältlich (Schneiden bitte separat bestellen). Generell können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.
In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.
- symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- gesteuert von nur einem Piezo - Aktor
- Spaltöffnung bis 60µm
- nm-genaue Positionsauflösung
- UHV - kompatible Version
- optionales Wegmesssystem
Anwendungen:
- Teilchenstrahlbegrenzung
- Spektroskopie
- Shutter
- optische Schalter
Bei den Elementen der Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.
Damit ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) gesichert.
Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem angeboten. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die PZS - Elemente sind mit Schneiden aus Edelstahl erhältlich (Schneiden bitte separat bestellen). Generell können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.
In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.
