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piezosystem jena
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METANAVIGATION

INHALTE

MICI 80

MICI 80
  • Hub bis zu 80 µm
  • hohe Resonanzfrequenz
  • Parallelogramm-Konstruktion
  • zusätzliche Masse bis zu 20 kg

Anwendungen:
  • Qualitätskontrolle
  • Automation
  • Feinjustierung optischer Bauteile
  • Mikro-Aufbauten

Diese Elemente wurden ursprünglich für den Bereich der Qualitätskontrolle in der optischen Industrie entwickelt - sie bestehen aus einem Piezoaktor, der mit einer Mikrometerschraube kombiniert wurde.
Es kann zunächst die Lage des Aktors mit der Mikrometerschraube eingestellt werden, um dann diese Position mithilfe des Piezoaktors feineinzustellen.

Die Auflösung liegt im nm- und sub-nm Bereich. Wegen der sehr robusten Konstruktion kann eine Masse von bis zu 20 kg bewegt werden.